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資料番号
S004-1991-0926
分類
H . 年史・社史/歴史 /
S . 研究論文・講演要旨
タイトル
講演要旨 第5回フォトファブリケーション技術シンポジウム’91
著者/編者
日本印刷学会
出版社
日本印刷学会
出版日付
1991
形態
B5判 77頁
資料の種別
講演要旨
配架場所
図書館内
目次
フォトファブリケーション/フォトポリマー/銀塩感材/ガラス材料/微細印刷法/LCD用ITO基板/露光装置/大型液晶
パネル対応ガラス基板検査装置/パターン付ガラス基板異物検査装置/大型寸法検査装置/透明膜/膜厚測定